1、风速
a)在主过滤器或扩散板下游10cm处的平面的面积分成不得少于十二等分的面积,各面积中心点即为风速测点。但各测点间距不应大于25cm;
b)将各测点风速值计算出截面风速算术平均值及风速均匀率。
2、照度
测点布置在洁净工作台横向的中心线上,均匀布置三点,取算术平均数作为洁净工作台的照度。
3、过滤器(PAO)检漏
向过滤器上游侧发气溶胶,同时用气溶胶发生器在下游侧距过滤器下口约2.5cm处进行扫描巡检。当下游侧浓度与上游侧浓度的比大于0.01%时,则认为有明显泄露。
4、噪声
洁净工作台的噪声测点应布置在工作台中心,宜四面各测定一次,取四点算术平均值。
5、气流流型
a)垂直气流试验
烟雾位于前窗内侧从一侧壁板移动到另一侧壁板操作区内,洁净工作台的垂直下降气流在均流板下部均呈现下降模式,无向上气流。
烟雾位于前窗内侧操作区从一侧壁板移动到另一侧壁板操作区内,洁净工作台的垂直下降气流在均流板下部均呈现下降模式,无向上气流。
烟雾距操作区后侧壁板从一侧壁板移动到另一侧壁板操作区内,洁净工作台的垂直下降气流在均流板下部均呈现下降模式,无向上气流。
b)水平气流试验
烟雾位于前窗内侧操作区从一侧壁板移动到另一侧壁板操作区内,洁净工作台的水平气流在散流孔前侧均呈现向外模式,无向内气流。