洁净室(区)在建设完成后,要进行洁净室环境等级评定、工程验收等。具体的项目包括:风速风量、换气次数、温湿度、压差、悬浮粒子、浮游菌、沉降菌、噪声、照度等。
洁净室(区)的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气,以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此,测定洁净室(区)或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。
单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内的污染空气以维持室内的洁净度。因此,其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能快、有效地排除室内工艺过程产生的污染物,因此它们是主要关注的项目。
非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内的污染物以维持其洁净度。换气次数越多,气流流型合理,稀释效果越显著,洁净度也会提高。非单向流洁净室(区)的送风量及相应的换气次数,是主要关注的气流测试项目。
为了获得可重复的读数,要记录各测点风速的时间平均值。
换气次数:根据洁净室(区)总风量除以洁净室(区)的容积求得。
洁净室(区)或洁净设施温、湿度测定,通常分为一般测试和综合测试。一般测试适用于处于空态的交竣验收测试;综合测试适用于静态或动态的综合性能测试。
温湿度在气流均匀性之后和空调系统调整之后进行;进行时,确保空调系统已经充分运转,其他各项目运行稳定;每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器,并且给传感器充分的稳定时间。所做测量应适合实际使用的目的,待传感器稳定之后才开始测量,测量时间不少于5 min。
按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。
(1)不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差,应不小于5 Pa。
(2)洁净室(区)与室外的静压差,应不小于 10 Pa。
(3)对于空气洁净度等级** 5 级的单向流洁净室(区),在开门时,门内 0.6 m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。
(4)若达不到以上标准的要求,应重新调整新风量、排风量、至合格为止。