测试内容: 1.总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等; 2.洁净室压力值; 3.层流洁净室断面风速和气流流向; 4.洁净工作区的洁净度; 5.室内温度、湿度及其控制能力的调整测试; 6.洁净室内噪声。 测点布置: 1.在洁净工作区内进行。当生产工艺无特殊要求时,取样高度宜为离地面1米。 2.层流洁净室测点总数不小于20点,测点间距为0.5~2.0米,粒径大于或等于0.5微米的尘粒数允许有一个点过。水平层流洁净室测点仅布置在洁净工作区内。 3.乱流洁净室可按洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点。每增加20-50平方米,增加3--5个测点。 数据整理: 1.每个测点的数据整理应在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采样,取其平均值,即为该点的实测数值。 2.对于大于或等于0.5微米的尘粒数确定:层流洁净室取各测**大值,乱流洁净室取各测点的平均值。 3.正压值测定应采用精度可达0.01毫米水柱的微压计。 动态测试的流程及方法 在洁净工作区操作位置选择有代表性测点的气流上风向进行,测试方法同空态、静态测试。
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